X射線(xiàn)熒光光譜儀主要是根據熒光光譜和激發(fā)光譜來(lái)判定物質(zhì)的性質(zhì)和量，具體如下：使激發(fā)光的波長(cháng)和強度保持不變，而讓熒光物質(zhì)所發(fā)生的熒光通過(guò)發(fā)射單色器照射于檢測器上，調節發(fā)射單色器至各種不同波長(cháng)處，由檢測器測出相應的熒光強度，讓不同波長(cháng)的激發(fā)光激發(fā)熒光物質(zhì)使之發(fā)生熒光，而讓熒光以固定的發(fā)射波長(cháng)照射到檢測器上。

　　X射線(xiàn)熒光光譜儀進(jìn)行定量分析的依據是元素的熒光X射線(xiàn)強度與試樣中該元素的含量Wi成正比：Ii=IsWi式中，Is為Wi=1時(shí)，該元素的熒光X射線(xiàn)的強度。根據上式，可以采用標準曲線(xiàn)法，增量法，內標法等進(jìn)行定量分析。

　　X射線(xiàn)熒光光譜儀在定性分析時(shí)，可以靠計算機自動(dòng)識別譜線(xiàn)，給出定性結果。但是如果元素含量過(guò)低或存在元素間的譜線(xiàn)干擾時(shí)，仍需人工鑒別。首先識別出X射線(xiàn)管靶材的特征X射線(xiàn)和強峰的伴隨線(xiàn)，然后根據2θ角標注剩斜譜線(xiàn)。在分析未知譜線(xiàn)時(shí)，要同時(shí)考慮到樣品的來(lái)源，性質(zhì)等因素，以便綜合判斷。
 

　　X射線(xiàn)熒光光譜儀優(yōu)勢：

　　1、制樣簡(jiǎn)單，試樣多數不需經(jīng)過(guò)化學(xué)處理就可分析，且固體、液體試樣均可直接分析。

　　2、分析速度快。雖然測定用時(shí)與測定精密度有關(guān)，但一般都很短，2～5分鐘就可以測完樣品中的全部待測元素。

　　3、多元素同時(shí)檢出能力?？赏瑫r(shí)檢測一個(gè)樣品中的多種元素，一個(gè)樣品一經(jīng)激發(fā)，樣品中各元素都各自發(fā)射出其特征譜線(xiàn)，可以進(jìn)行分別檢測而同時(shí)測定多種元素。

　　4、敏感度高，選擇性好。熒光分析的靈敏度要比吸收光譜測量高2-3個(gè)數量級。

　　5、非破壞分析。在測定中不會(huì )引起化學(xué)狀態(tài)的改變，也不會(huì )出現試樣飛散現象，同一試樣可反復多次測量，結果重現性好。