X射線(xiàn)熒光光譜儀是元素分析的主要儀器之一，在元素分析中具有制樣簡(jiǎn)單、無(wú)損、快速、不破壞樣品、可以多元素同時(shí)分析等優(yōu)點(diǎn)。X射線(xiàn)熒光光譜儀就是這樣一種分析儀器，目前市場(chǎng)上使用比較多的兩種型號是能量色散型和波長(cháng)色散型的X射線(xiàn)熒光光譜儀。但這種傳統的儀器有時(shí)候靈敏度不夠高，無(wú)法滿(mǎn)足微量或痕量應用領(lǐng)域的檢測需求，因此這制約了它的發(fā)展。

　　X射線(xiàn)熒光光譜儀采用兩種分光技術(shù)，一是通過(guò)分光晶體對不同波長(cháng)的X-熒光進(jìn)行衍射而達到分光目的，然后用探測器探測不同波長(cháng)處X-熒光強度，這項技術(shù)稱(chēng)為波長(cháng)色散光譜。另一項技術(shù)是首先使用探測器接收所有不同能量的X-熒光，通過(guò)探測器轉變成電脈沖信號，經(jīng)前置放大后，用多道脈沖高度分析器進(jìn)行信號處理，得到不同能量X-熒光的強度分布譜圖，即能量色散光譜，簡(jiǎn)稱(chēng)X-熒光能譜。

　　X射線(xiàn)熒光光譜儀較常見(jiàn)的故障，一般發(fā)生在開(kāi)機時(shí)，偶爾也發(fā)生在儀器運行中。故障的產(chǎn)生原因可以從三個(gè)方面去分析：1、X射線(xiàn)防護系統;2、內部水循環(huán)冷卻系統;3、高壓發(fā)生器及X射線(xiàn)光管。
 

　　一、X射線(xiàn)防護系統

　　為了防止X射線(xiàn)泄漏，高壓發(fā)生器只有在射線(xiàn)防護系統正常的情況下才能啟動(dòng)。射線(xiàn)防護系統正常與否，主要檢查以下二部分：

　　1、面板的位置是否正常。是一個(gè)封閉系統，面板是外層的射線(xiàn)防護裝置，如果有一塊面板不到位，儀器就有射線(xiàn)泄漏的可能。因此，每塊面板上都有位置接觸傳感器，面板沒(méi)有*合上，高壓開(kāi)不起來(lái)。

　　2、X射線(xiàn)的警示標志是否正常。國家標準[1]規定，必須安裝紅色警告信號燈并與相應的開(kāi)關(guān)聯(lián)動(dòng)，因此如果信號燈失靈，高壓也開(kāi)不起來(lái)。

　　有一種簡(jiǎn)單的方法可以判斷高壓不能啟動(dòng)是否是由射線(xiàn)防護系統引起，即將儀器的狀態(tài)設定為維修狀態(tài)，屏蔽射線(xiàn)防護系統，如果這時(shí)高壓可以開(kāi)起來(lái)，就可以確定故障是由射線(xiàn)防護系統的問(wèn)題引起的。

　　二、內部水循環(huán)冷卻系統

　　高壓發(fā)生器的輸出功率一般為3kW或4kW，將高壓加至X射線(xiàn)光管后，除小部分用于產(chǎn)生X射線(xiàn)外，大部分轉化為熱能，由內部水循環(huán)冷卻系統帶走。內循環(huán)水用于冷卻陽(yáng)極靶附近的光管頭部分，因此要求內循環(huán)水為電導率很低的去離子水，以防高壓擊穿。內循環(huán)水通過(guò)儀器內部的去離子樹(shù)脂柱降低電導率，去離子樹(shù)脂柱中的樹(shù)脂會(huì )年久失效，因此高壓無(wú)法啟動(dòng)時(shí)，可檢查一下內循環(huán)水的電導率，如果電導率降不下去，考慮更換樹(shù)脂。另外，內循環(huán)水的水位過(guò)低，也會(huì )導致高壓開(kāi)不起來(lái)。

　　還有一種故障現象是高壓開(kāi)起來(lái)幾分鐘后跳掉，無(wú)損檢測資源網(wǎng)產(chǎn)生這種故障的原因可能為內循環(huán)水的流量過(guò)小。內循環(huán)水的流量通過(guò)流量計測量，水流過(guò)流量計時(shí)，帶動(dòng)流量計內的葉輪，葉輪切割磁力線(xiàn)，產(chǎn)生電信號。葉輪在水中長(cháng)期轉動(dòng)，可能會(huì )銹蝕，從而使葉輪的轉速減慢，流量計的電信號減弱，使儀器誤認為水流量過(guò)小而導致高壓跳掉。另外內循環(huán)水的過(guò)濾網(wǎng)堵塞導致水流量減小，也會(huì )引起高壓跳掉。

　　三、高壓發(fā)生器及X射線(xiàn)光管本身

　　高壓發(fā)生器和X射線(xiàn)光管是儀器內貴重的部件，一般不會(huì )出問(wèn)題。檢查高壓發(fā)生器，可將高壓發(fā)生器打開(kāi)，根據電路圖，檢查各個(gè)開(kāi)關(guān)是否在正常位置，看一下保險絲有沒(méi)有熔斷，再進(jìn)一步的檢查*由專(zhuān)業(yè)維修工程師來(lái)做。X射線(xiàn)光管是個(gè)封閉的部件，一旦損壞，只能更換，不能修理。檢查X射線(xiàn)光管，可檢查X射線(xiàn)光管與高壓電纜的連接是否正常，高壓電纜有無(wú)損壞。

　　故障現象二

　　光譜室和樣品室的真空抽不到規定值。

　　故障分析：

　　X射線(xiàn)熒光光譜分析通常在真空光路條件下工作，但光譜室和樣品室有很多部位與外部相連，可能漏氣的部位很多。檢查真空故障時(shí)，將可能出問(wèn)題的地方人為分隔為三部分：真空泵、樣品室、光譜室，對這三部分逐一檢查以縮小范圍。